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申请/专利权人：鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司
申请日：2023-11-17
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN221226162U
主分类号：H01L21/66
分类号：H01L21/66;H01L21/67;H01L21/673;G01B11/30
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权
摘要：本实用新型公开了一种热处理设备晶圆凸片检测装置，包括设备壳体，所述设备壳体内设有安装架，所述安装架上设有多个伸缩架，每个所述伸缩架上均设有晶圆片盒，所述晶圆片盒内可放置晶圆片，所述晶圆片盒的前端设有红外收发模块，所述红外收发模块包括第一模块盒与第二模块盒，所述第一模块盒内设有红外发射器，所述第二模块盒内设有红外接收器，所述红外发射器可在第一模块盒内进行移动，所述红外接收器可在第二模块盒内进行移动；本实用新型结构简单，设计新颖，可快速判断晶圆片是否发生凸片，以便及时调整，保护晶圆片的同时也保证了晶圆片的热处理效果。
主权项：1.一种热处理设备晶圆凸片检测装置，包括设备壳体（1），其特征在于：所述设备壳体（1）内设有安装架，所述安装架上设有多个伸缩架（2），每个所述伸缩架（2）上均设有晶圆片盒（3），所述晶圆片盒（3）内可放置晶圆片，所述晶圆片盒（3）的前端设有红外收发模块（4），所述红外收发模块（4）包括第一模块盒（41）与第二模块盒（43），所述第一模块盒（41）内设有红外发射器（42），所述第二模块盒（43）内设有红外接收器（44），所述红外发射器（42）可在第一模块盒（41）内进行移动，所述红外接收器（44）可在第二模块盒（43）内进行移动。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 鑫德斯特电子设备(安徽)有限公司 一种热处理设备晶圆凸片检测装置
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