首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

高效多量子阱发光二极管外延片及制备方法 

申请/专利权人:湖南蓝芯微电子科技有限公司

申请日:2024-03-25

公开(公告)日:2024-06-25

公开(公告)号:CN118248804A

主分类号:H01L33/14

分类号:H01L33/14;H01L33/04;H01L33/00

优先权:

专利状态码:在审-公开

法律状态:2024.06.25#公开

摘要:本发明涉及LED半导体技术领域,具体涉及一种高效多量子阱发光二极管外延片及其制备方法。本发明包括外延结构,外延结构的复合电子阻挡层,包括依次层叠的第一AlGaN层、第一AlN层、BInGaN和InGaN的超晶格结构、第二AlN层、第二AlGaN层;宽禁带的AlN、AlGaN材料起到阻挡电子并降低电子移动速率的作用,防止电子注入到P型材料造成电子泄漏。低禁带宽度的BInGaN、InGaN材料可以储存部分空穴,同时还可以减弱对空穴的阻挡作用,以提高P型材料的空穴注入效率,从而改善多量子阱发光层中的电子空穴匹配度,以提高LED的发光效率。

主权项:1.一种高效多量子阱发光二极管外延片,其特征在于,包括外延结构,外延结构包括衬底1及依次沉积在所述衬底1上的N型半导体层2、低温应力释放层3、多量子阱发光层4、复合电子阻挡层5、P型半导体层6和P型欧姆接触层7,其中:复合电子阻挡层5,包括依次层叠的第一AlGaN层51、第一AlN层52、BInGaN和InGaN的超晶格结构、第二AlN层55、第二AlGaN层56;第一AlGaN层51,Al组分占比为0.3~0.7,厚度为4nm~15nm;第一AlN层52,厚度为4nm~15nm;BInGaN和InGaN的超晶格结构,周期数为3~10,总厚度为5~10nm,其中:单层BInGaN层53的厚度为0.5nm~1nm,B组分占比不变为0.3~0.7,In组分占比为0.02~0.05;单层InGaN层54的厚度为0.5nm~1nm,In组分占比为0.03~0.09;第二AlN层55,厚度为4nm~15nm;第二AlGaN层56,Al组分占比为0.3~0.7,厚度为4nm~15nm;P型半导体层6,为P型GaN基材料。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 湖南蓝芯微电子科技有限公司 高效多量子阱发光二极管外延片及制备方法

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。