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申请/专利权人：蔡适聪
申请日：2024-03-22
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118248677A
主分类号：H01L23/544
分类号：H01L23/544;H01L21/66
优先权：["20231212 TW 112148308"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：一种对位检测图案，用于检测经图案化制程后形成一基材的制程图案单元，该基材具有至少一线路区，该制程图案单元位于该线路区。该对位检测图案包含一形成于该线路区外侧的对位图案单元，该对位图案单元包括多个只位于该线路区沿第一方向的相对两侧边的其中一边的第一对位图案，及多个只位于该线路区沿第二方向的相对两侧边的其中一边的第二对位图案。将该对位图案单元作为对位依据，以得到该制程图案单元的对位检测结果。经由该对位图案单元的设计能减少检测制程图案单元所需的获取范围，提升检测效率。此外，本发明还提供一种对位检测方法及系统。
主权项：1.一种对位检测图案，用于检测经图案化制程后形成于基材的制程图案单元，所述基材具有至少一成方形的线路区，所述制程图案单元位于所述至少一线路区，所述对位检测图案包含：对位图案单元，形成于所述至少一线路区的外侧，包括多个只位于所述至少一线路区沿第一方向的相对两侧边的其中一侧边的第一对位图案，及多个只位于所述至少一线路区沿一第二方向的相对两侧边的其中一侧边的第二对位图案，其中，所述第一方向与所述第二方向彼此正交，所述多个第一对位图案沿所述第二方向间隔排列并具有相同的节距，所述多个第二对位图案沿所述第一方向间隔排列并具有相同的节距。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 蔡适聪 对位检测图案、对位检测方法及系统
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