龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
申请/专利权人：佳能株式会社
申请日：2023-12-19
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118237242A
主分类号：B05D3/04
分类号：B05D3/04;H01L21/67;H10K71/00;H10K50/10
优先权：["20221223 JP 2022-207119","20221223 JP 2022-207120","20230515 JP 2023-080032","20231017 JP 2023-178710"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明提供基板处理装置以及物品制造方法，减少配置在基板上的溶液的干燥速度的不均。基板处理装置具备：气密容器；对上述气密容器的内部进行减压的减压机构；配置在上述气密容器的内部并能保持基板的基板保持部；以及在上述气密容器的内部配置在与上述基板保持部所保持的上述基板的侧面相向的位置的壁构件。上述壁构件具有与上述基板的侧面相向的那侧的壁面。上述壁构件在上述壁面的至少一部分具有第1防液构件。
主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，上述基板处理装置具备：气密容器；减压机构，该减压机构对上述气密容器的内部进行减压；基板保持部，该基板保持部配置在上述气密容器的内部，并能保持基板；以及壁构件，该壁构件在上述气密容器的内部配置在与上述基板保持部所保持的上述基板的侧面相向的位置，上述壁构件具有与上述基板的侧面相向的那侧的壁面，上述壁构件在上述壁面的至少一部分具有第1防液构件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能株式会社 基板处理装置以及物品制造方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号