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申请/专利权人：珠海基石科技有限公司
申请日：2024-05-24
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118239975A
主分类号：C07F7/22
分类号：C07F7/22;G03F7/00;G03F7/09;H01L21/027;G03F7/004
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本申请提供一种有机锡簇结构及其制备方法、图案化组合物、图案化方法、图案化薄膜、图案化基底和电子元器件，所述有机锡簇结构包括由烷基锡化合物和或环烷基锡化合物构成的锡团簇骨架、和配位连接于所述锡团簇骨架上的有机配体，所述有机配体包括取代或非取代或主链上含有杂原子的烷氧基、取代或非取代或主链上含有杂原子的烷硫基、取代或非取代或主链上含有杂原子的烷胺基、取代或非取代的芳氧基、取代或非取代的芳硫基、取代或非取代的芳胺基、取代或非取代的杂环基中的一种或多种。该有机锡簇结构具有良好的溶解性，采用该有机锡簇结构制备的组合物能够实现较好的溶液稳定性，并能在紫外光、软X射线或电子束辐照下，实现较好的曝光效果。
主权项：1.一种有机锡簇结构，其特征在于，所述有机锡簇结构包括由烷基锡化合物和或环烷基锡化合物构成的锡团簇骨架以及配位连接于所述锡团簇骨架上的有机配体，所述有机配体包括取代或非取代或主链上含有杂原子的烷氧基、取代或非取代或主链上含有杂原子的烷硫基、取代或非取代或主链上含有杂原子的烷胺基、取代或非取代的芳氧基、取代或非取代的芳硫基、取代或非取代的芳胺基、取代或非取代的杂环基中的一种或多种。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 珠海基石科技有限公司 有机锡簇结构及其制备方法、图案化组合物、图案化方法、图案化薄膜、图案化基底和电子元器件
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