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申请/专利权人：深圳市矩阵多元科技有限公司
申请日：2024-04-19
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118250880A
主分类号：H05H1/24
分类号：H05H1/24
优先权：
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：本发明提供了一种等离子体发生器，等离子体发生器包括腔体、第一电极板、第二电极板、电源系统和供气系统，第一电极板和第二电极板相向设置并且间隔设置，第二电极板包括出气面，出气面包括多个从内到外分布的出气区域，电源系统用于使两个电极板之间形成电场，从而使工作气体转化为等离子体；当等离子体的气压不小于Pm且不大于Pn时，等离子体的密度随气压的上升而下降；对于任意两个相邻的出气区域，内侧的出气区域的气压为P内，外侧的出气区域的气压为P外，Pm＜P外＜P内＜Pn。本发明的等离子体发生器有利于提高等离子体的分布均匀性，从而提高等离子体对工件不同部位的加工效果的一致性。
主权项：1.等离子体发生器，其特征在于，包括：腔体；第一电极板，所述第一电极板位于所述腔体内；第二电极板，所述第二电极板位于所述腔体内，所述第一电极板和所述第二电极板相向设置并且间隔设置，所述第二电极板包括出气面，所述出气面朝向所述第一电极板，所述出气面包括多个出气区域，每一所述出气区域设有多个出气孔，从所述第二电极板的中心至所述第二电极板的边缘的方向为从内到外的方向，多个所述出气区域从内到外分布；电源系统，所述第一电极板和所述第二电极板中的至少一者与所述电源系统电连接，所述电源系统用于使所述第一电极板和所述第二电极板之间形成电场，从而使所述腔体内的工作气体的至少一部分转化为等离子体；供气系统，所述供气系统用于将工作气体输送至所述第二电极板以使工作气体从所述出气孔流出；当所述等离子体的气压不小于Pm且不大于Pn时，所述等离子体的密度随气压的上升而下降；对于任意两个相邻的所述出气区域，位于内侧的一个所述出气区域的气压为P内，位于外侧的一个所述出气区域的气压为P外，Pm＜P外＜P内＜Pn。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市矩阵多元科技有限公司 等离子体发生器
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