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申请/专利权人：ASML荷兰有限公司
申请日：2022-10-04
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN118251748A
主分类号：H01J37/24
分类号：H01J37/24;H01J37/28
优先权：["20211102 US 63/274,895"]
专利状态码：在审-公开
法律状态：2024.06.25#公开
摘要：公开了使用具有增强的束波探测电流的多带电粒子束装置来检查样品的系统和方法。该装置可以包括带电粒子源、被配置为聚焦多个带电粒子束以在交叉点处形成束交叉的第一会聚透镜和被配置为准直所聚焦的多个带电粒子束的第二会聚透镜，其中交叉点沿着主光轴形成在第一会聚透镜与第二会聚镜之间，并且其中交叉点的位置的调节导致多个带电微粒束的束尺寸的调节。交叉点的位置可以通过改变一个或多个会聚透镜的激励或者通过电移动一个或多个会聚透镜的主平面位置来调节。
主权项：1.一种多带电粒子束装置，包括：带电粒子源，被配置为生成沿着主光轴的多个带电粒子束；第一会聚透镜，被配置为聚焦所述多个带电粒子束，以在交叉点处形成束交叉；以及第二会聚透镜，被配置为准直所聚焦的所述多个带电粒子束，其中所述交叉点相对于所述主光轴形成在所述第一会聚透镜与所述第二会聚透镜之间，并且其中所述交叉点的位置的调节引起所述多个带电粒子束的束尺寸的调节。
全文数据：
权利要求：
百度查询： ASML荷兰有限公司 多带电粒子束装置及其操作方法
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