申请/专利权人:ABB瑞士股份有限公司
申请日:2018-08-23
公开(公告)日:2024-06-25
公开(公告)号:CN112789498B
主分类号:G01N21/55
分类号:G01N21/55;G01N21/3581;G01N21/84;G01B11/06;G01B11/24
优先权:
专利状态码:有效-授权
法律状态:2024.06.25#授权;2021.05.28#实质审查的生效;2021.05.11#公开
摘要:一种用于目标物体38的检查的方法,该方法包括:用辐射58照射具有非平坦参考轮廓68的参考表面66;基于与参考表面66相互作用的检测到的辐射58来确定参考响应数据;用辐射58照射目标物体38,该目标物体38包括目标表面70,该目标表面70具有与参考轮廓68相对应的非平坦目标轮廓72;基于与目标物体38相互作用的检测到的辐射58来确定检查响应数据;以及基于参考响应数据和检查响应数据来确定目标物体38的至少一个参数。还提供了:备选方法;用于控制发射器系统40和检测器系统42的控制系统18;以及检查系统14,包括控制系统18、发射器系统40和检测器系统42。
主权项:1.一种用于目标物体38的检查的方法,所述方法包括:-用辐射58照射一个或多个参考表面66的多个非平坦参考轮廓68;-对于每个参考轮廓68,基于与所述参考表面66相互作用的检测到的辐射58,来确定与所述参考轮廓68相关联的参考响应数据;-用辐射58照射目标物体38,所述目标物体38包括目标表面70,所述目标表面70具有与所述参考轮廓68中的一个参考轮廓相对应的非平坦目标轮廓72;-基于与所述目标物体38相互作用的检测到的辐射58来确定检查响应数据;-确定所述目标表面70的所述目标轮廓72;-选择与所述目标轮廓72最相当的所述参考轮廓68;以及-基于所述参考响应数据和所述检查响应数据,来确定所述目标物体38的至少一个参数;其中基于与所选择的参考轮廓68相关联的所述参考响应数据、以及所述检查响应数据,来进行所述目标物体38的至少一个参数的确定。
全文数据:
权利要求:
百度查询: ABB瑞士股份有限公司 用于目标物体的检查的方法、控制系统以及检查系统
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