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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日：2018-10-26
公开（公告）日：2024-06-25
公开（公告）号：CN111105062B
主分类号：G06Q10/0631
分类号：G06Q10/0631;G06Q50/04
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.25#授权;2020.05.29#实质审查的生效;2020.05.05#公开
摘要：本发明提供的基于设备状态的物料调度方法及物料调度系统，在步骤S1中根据晶片的数量和每一晶片经历的工序的数量建立工序集合，并在步骤S2中计算工序集合中每一未执行工序的等待时间，并确定等待时间最短的执行序列，由于每次执行的工序都是在步骤S2中从所有未执行工序中全局选取的，且每次执行的工序都是等待时间最短的工序，根据动态规划理论最优化原理，一个解的所有阶段子解为最优解，则所有阶段子解构成的集合为一个最优解，因此，采用本发明提供的物料调度方法进行工艺的总时间是用时最短的，进而提升设备产能，使设备产能达到最优。
主权项：1.一种基于设备状态的物料调度方法，将所述设备中的腔室作为站点，其特征在于，包括以下步骤：S1、根据晶片的数量和每一所述晶片经历的工序的数量，建立工序集合；其中，一片所述晶片经过任一所述站点为晶片经历的一道所述工序，所有晶片的所有未执行的工序的集合，为所述工序集合；S2、计算所述工序集合中每一未执行工序的等待时间，并确定等待时间最短的执行序列；S3、按照所述执行序列执行所述工序；S4、判断所述执行序列中是否还有未执行工序，若是，则返回步骤S2，若否，则结束；所述步骤S1还包括建立工序状态列表，所述工序状态列表为矩阵结构；其中，所述晶片的数量为m，每一所述晶片经历的工序的数量为n；根据m片晶片的n道工序建立的所述工序状态列表为m*n阶工序状态矩阵；所述工序状态列表包括所有工序和每一工序对应的工序状态，所述工序状态包括已执行和未执行；所述步骤S3还包括：S34、将所述工序状态列表中该工序对应的工序状态变更为已执行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 基于设备状态的物料调度方法及物料调度系统
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