申请/专利权人:浙江珏芯微电子有限公司
申请日:2024-05-29
公开(公告)日:2024-06-28
公开(公告)号:CN118253509A
主分类号:B08B1/32
分类号:B08B1/32;G01J5/05;B23K26/362;B29C33/12;B29C39/10;B29C39/26;B29C39/38;B29C35/08
优先权:
专利状态码:在审-公开
法律状态:2024.06.28#公开
摘要:本发明公开了一种去除杜瓦内部多余物的装置及吸附体的制备方法,属于红外探测器技术领域;包括,用于吸附多余物的吸附体,吸附体围绕杜瓦的轴线可转动地设于杜瓦的内部,吸附体包括软物质主体和位于软物质主体底部的金属挡板,金属挡板朝向吸附体转动方向一侧的软物质主体的底面设有第一凹坑;内磁体,位于吸附体的内部;传动组件,位于杜瓦的外侧,传动组件包括用于牵引内磁体的外磁体,传动组件牵引外磁体带动吸附体转动,将多余物吸附入第一凹坑内。上述技术方案的有益效果是:能够收集杜瓦内部的多余物,同时不产生额外多余物,也延长了真空使用寿命,避免了多余物对杜瓦成像的影响。
主权项:1.一种去除杜瓦内部多余物的装置,其特征在于,包括,用于吸附多余物(2)的吸附体(1),所述吸附体(1)围绕杜瓦(4)的轴线可转动地设于所述杜瓦(4)的内部,所述吸附体(1)包括软物质主体(11)和位于所述软物质主体(11)底部的金属挡板(12),所述金属挡板(12)朝向所述吸附体(1)转动方向一侧的所述软物质主体(11)的底面设有第一凹坑(13);内磁体(14),位于所述吸附体(1)的内部;传动组件(3),位于所述杜瓦(4)的外侧,所述传动组件(3)包括用于牵引所述内磁体(14)的外磁体(31),所述传动组件(3)牵引所述外磁体(31)带动所述吸附体(1)转动,将所述多余物(2)吸附入所述第一凹坑(13)内。
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权利要求:
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