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申请/专利权人：光驰科技(上海)有限公司
申请日：2020-05-09
公开（公告）日：2024-06-28
公开（公告）号：CN111378948B
主分类号：C23C14/50
分类号：C23C14/50;C23C14/56
优先权：
专利状态码：有效-授权
法律状态：2024.06.28#授权;2020.07.31#实质审查的生效;2020.07.07#公开
摘要：本发明涉及薄膜制备技术领域，尤其是一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，包括真空气缸、两套抱臂机构，真空气缸连接驱动两套抱臂机构的夹紧与打开以实现对基板的夹紧或松开；抱臂机构包括推动部件、连杆、旋转轴以及抱臂，其中推动部件与真空气缸相传动配合，真空气缸可上下直线运动，推动部件可在真空气缸的驱动下可左右直线运动，推动部件通过连杆连接旋转轴，旋转轴可在推动部件的带动下旋转，抱臂与旋转轴相连接固定使抱臂在旋转轴的带动下旋转；两套抱臂机构的抱臂相向旋转实现基板的夹紧，两套抱臂机构的抱臂相背旋转实现基板的松开。本发明的优点是：结构简单合理，占用空间小，降低成本，简化动作流程，自动化程度及精度高。
主权项：1.一种用于镀膜的基板横移夹紧机构，用于对基板进行夹紧，其特征在于：包括真空气缸、两套抱臂机构，所述真空气缸连接驱动所述两套抱臂机构的夹紧与打开以实现对基板的夹紧或松开；所述抱臂机构包括推动部件、连杆、旋转轴以及抱臂，其中所述推动部件与所述真空气缸相传动配合，所述真空气缸可上下直线运动，所述推动部件在所述真空气缸的驱动下可左右直线运动，所述推动部件通过所述连杆连接所述旋转轴，所述旋转轴可在所述推动部件的带动下旋转，所述抱臂与所述旋转轴相连接固定使所述抱臂在所述旋转轴的带动下旋转；两套所述抱臂机构的抱臂相向旋转实现所述基板的夹紧，两套所述抱臂机构的抱臂相背旋转实现所述基板的松开；所述真空气缸上设置有凸轮随动器，所述推动部件上设置有与所述凸轮随动器相吻合适配的凹槽，所述凹槽相较于所述真空气缸的运动方向倾斜布置，所述凸轮随动器承插在所述凹槽内且两者之间构成滑动配合，所述真空气缸通过所述凸轮随动器与所述凹槽之间的配合实现所述真空气缸的上下直线运动至所述推动部件左右直线运动的动力转化；所述推动部件上设置有凸轮随动器，所述凸轮随动器与所述连杆构成传动配合，所述推动部件通过所述凸轮随动器与所述连杆之间的传动配合实现所述推动部件左右直线运动至所述旋转轴的旋转的动力转化。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光驰科技(上海)有限公司 一种用于镀膜的基板横移夹紧机构
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