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一种分bin装置及分bin方法 

申请/专利权人:聚灿光电科技(宿迁)有限公司

申请日:2023-12-28

公开(公告)日:2024-06-28

公开(公告)号:CN117810123B

主分类号:H01L21/67

分类号:H01L21/67;H01L21/683;H01L21/687;H01L33/00;B07C5/34;B07C5/36;B07C5/02

优先权:

专利状态码:有效-授权

法律状态:2024.06.28#授权;2024.04.19#实质审查的生效;2024.04.02#公开

摘要:本发明公开了一种分bin装置,包括控制系统、机架、摆臂、用于放置混合大bin的料盒库、用于放置新组合bin的收料盒、用于混合大bin或蓝膜或新组合bin转移的机械臂、吸附范围可调节的吸真空机构和顶出支撑范围可调节的支撑机构。采用该分bin装置进行分bin的分bin方法,先利用控制系统读取、识别和判断待转移的混合大bin上芯粒位置和范围,再由吸真空机构和支撑机构调节相应的作用范围,实现混合大bin上区域性芯粒的批量转移,转移至新组合bin上,实现新组合bin上芯粒的最佳重组,提升整体片源良率,有效提升了芯粒的搬迁效率,解决因蓝膜等物料损失而造成的成本浪费问题。

主权项:1.一种分bin装置,包括控制系统、机架、摆臂、用于放置混合大bin的料盒库、用于放置新组合bin的收料盒,以及用于混合大bin、蓝膜和新组合bin转移的机械臂,料盒库、收料盒分别位于机架的两侧,其特征在于:还包括吸附范围可调节的吸真空装置和顶起支撑范围可调节的支撑机构,所述吸真空装置通过摆臂设于机架上方,所述支撑机构位于吸真空装置的下方并与其相互配合实现设定范围内的芯粒抓取,所述控制系统与摆臂、机械臂、吸真空装置、支撑机构、料盒库、收料盒电性连接;所述吸真空装置包括负压腔体,所述负压腔体的底板为均匀间隔开设有多个通孔的蜂窝板,多个所述通孔的大小及相邻通孔间距离与片源上的芯粒分布相对应,每个所述通孔下端连接有吸嘴,所述蜂窝板的上侧四周均滑动连接有活动板,每个所述活动板上连接有第一电动缸,四个第一电动缸与控制系统连接实现真空吸附范围的调节;所述支撑机构包括壳体,所述壳体内部均匀间隔设有与片源上的芯粒分布相对应的多个顶针,每个所述顶针下方连接有第二电动缸,每个所述第二电动缸与控制系统连接实现芯粒的顶起支撑。

全文数据:

权利要求:

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