申请/专利权人：深圳市常丰激光刀模有限公司

申请日：2024-01-24

公开（公告）日：2024-06-28

公开（公告）号：CN117794089B

主分类号：H05K3/06

分类号：H05K3/06;G06T7/00;G06F30/398;G06T5/90;G06T7/11;G06T11/20;G06T11/60;G06F30/392;G01N21/25;G01B11/02;G01B11/14;G06F115/12

优先权：

专利状态码：有效-授权

法律状态：2024.06.28#授权;2024.04.16#实质审查的生效;2024.03.29#公开

摘要：本发明涉及PCB板技术领域，尤其涉及一种印制线路板线路的动态蚀刻补偿方法。所述方法包括以下步骤：对待蚀刻的印制线路板进行图形采集处理，从而得到线路图形数据；对线路图形数据进行灰度图像转换，并进行线路特征提取，从而得到线路形貌特征向量；通过生成对抗网络对线路形貌特征向量进行质量修正，从而得到线路修正图形数据；根据线路修正图形数据进行蚀刻掩模设计，从而得到蚀刻掩模数据；根据蚀刻掩模数据对待蚀刻的印制线路板进行电化学蚀刻，并实时监测蚀刻速率、深度以及线宽变化量，从而得到蚀刻质量数据。本发明通过模糊逻辑控制进行线宽补偿，解决了线宽偏差难以及时修正的问题。

主权项：1.一种印制线路板线路的动态蚀刻补偿方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1：对待蚀刻的印制线路板进行图形采集处理，从而得到线路图形数据；对线路图形数据进行灰度图像转换，并进行线路特征提取，从而得到线路形貌特征向量；步骤S2，包括：步骤S21：将线路形貌特征向量输入预设的第一生成对抗网络进行修正后的线路图形生成，从而得到线路图形生成数据；步骤S22：对线路图形生成数据进行质量评估，从而得到线路图形质量数据；步骤S23：根据第一生成对抗网络的判断器对线路图形质量数据进行质量判断，从而得到质量判断数据；步骤S24：根据质量判断数据对第一生成对抗网络的生成器进行参数修正，从而得到修正后的第二生成对抗网络；步骤S25：将线路形貌特征向量作为输入循环执行步骤S21、步骤S22、步骤S23以及步骤S24，直至质量判断数据大于或等于预设的质量阈值；步骤S26：根据线路修正图形数据进行蚀刻掩模设计，从而得到蚀刻掩模数据；步骤S3：根据蚀刻掩模数据对待蚀刻的印制线路板进行电化学蚀刻，并实时监测蚀刻速率、深度以及线宽变化量，从而得到蚀刻质量数据；通过模糊逻辑控制器根据蚀刻质量数据对电压进行线宽变化惯性补偿，从而得到蚀刻线路图形数据；步骤S4：对蚀刻线路图形数据进行光谱仪扫描，并采集印制电路板表面反射光的强度，从而得到光谱信号数据；对光谱信号数据进行光谱特征分析，并进行印制电路板表面材料识别，从而得到表面材料数据；步骤S5，包括：步骤S51：对表面材料数据中的材料进行蚀刻特性分析，从而得到材料蚀刻特性数据；步骤S52：根据材料蚀刻特性数据对不同材料之间的蚀刻特性差异，并进行蚀刻质量影响评估，从而得到材料特性差异数据；步骤S53：根据材料特性差异数据以及蚀刻线路图形数据生成蚀刻质量的目标函数和约束条件，并建立蚀刻参数优化模型，从而得到蚀刻参数优化模型数据；步骤S54：对蚀刻参数优化模型数据进行材料不均匀性补偿优化，从而得到蚀刻参数优化数据；步骤S55：根据蚀刻参数数据进行二次蚀刻，从而得到二次蚀刻线路图形数据；步骤S6：对二次蚀刻线路图形数据进行图形识别，并进行图形标签添加，从而得到图形标签数据；对图形标签数据进行图形编码，从而得到图形编码数据；将图形编码数据转换SVG图形格式，并将SVG图形输入图形输出设备，从而实现图形输出。

全文数据：

权利要求：

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