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一种抗偏振波动的激光功率检测装置及其功率检测方法 

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申请/专利权人:深圳市宝辰鑫激光科技有限公司

摘要:本发明涉及激光器技术领域,特别是涉及一种抗偏振波动的激光功率检测装置及其功率检测方法。该检测方法包括以下步骤:S10:通过采光模块将激光分为加工用光和检测用光;S20:通过滤光模块对检测用光进行滤波;S30:通过聚光模块将滤波后的检测光聚焦到检测装置;S40:所述检测装置输出偏振稳定的检测用光并进行功率检测有益效果:本发明设置两组镜片,并通过调节两组镜片的角度,使激光与所述第一镜片组在P方向上的入射角等于激光与第二镜片组在S方向上的入射角,有效避免了模式耦合以及热不稳定性导致偏振波动对激光功率检测的干扰,实现了光电式感应件在大功率激光检测上的应用,使激光检测同时具备高稳定性和高精度的优点。

主权项:1.一种抗偏振波动的激光功率检测方法,其特征在于,包括以下步骤:S10:通过采光模块将激光分为加工用光和检测用光;S20:通过滤光模块对检测用光进行滤波;S30:通过聚光模块将滤波后的检测光聚焦到检测装置;S40:所述检测装置输出偏振稳定的检测用光并进行功率检测。

全文数据:

权利要求:

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