龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：SPP科技股份有限公司
摘要：本发明的基板处理装置100具备下部腔室1、上部腔室2及升降机构3。上部腔室包括第1总成2a、第2总成2b及将第1总成和第2总成以能够连结解除的方式连结的锁定机构8。第1总成包括顶板21及第1罩体22，且从第1罩体的外侧与升降机构3连结。锁定机构设于第1总成的比第1罩体更靠内周侧的位置。
主权项：1.一种基板处理装置，其具备：下部腔室，包括处理基板的反应室；上部腔室，覆盖所述下部腔室的上部；及升降机构，从所述下部腔室装卸所述上部腔室，所述上部腔室包括：上侧的第1总成；第2总成，配置于所述第1总成的下表面；及锁定机构，将所述第1总成和所述第2总成以能够连结解除的方式连结；所述第1总成包括：顶板；及第1罩体，以能够开放的方式覆盖所述顶板的上表面，且所述第1总成从所述第1罩体的外侧与所述升降机构连结；所述第2总成包括：等离子体产生室，与所述反应室连结而构成封闭空间，及筒状的第2罩体，覆盖所述等离子体产生室的外周，所述锁定机构设于所述第1总成的比所述第1罩体更靠内周侧的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： SPP科技股份有限公司 基板处理装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号