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图像感测器件及其制造方法 

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申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

摘要:本申请的实施例提供了一种图像感测器件,该图像感测器件包括:半导体本体,具有前侧和背侧;光电探测器,位于所述半导本体内;深沟槽隔离结构,延伸到所述半导体本体中以横向地围绕所述光电探测器;以及p掺杂半导体的外延层,衬垫于所述深沟槽隔离结构。本申请的实施例还提供了制造图像感测器件的方法。

主权项:1.一种图像感测器件,包括:半导体本体,具有前侧和背侧;光电探测器,位于所述半导本体内;深沟槽隔离结构,延伸到所述半导体本体中以横向地围绕所述光电探测器;以及p掺杂半导体的外延层,衬垫于所述深沟槽隔离结构。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 台湾积体电路制造股份有限公司 图像感测器件及其制造方法

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