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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明抑制基板的旋转。在配置于基板处理装置的内槽501的处理位置处的升降机13的保持棒132上设有保持槽1321，相对于由该保持槽从下方保持的基板W设有从上方进行保持的保持部52a。
主权项：1.一种基板处理装置，其特征在于，具备：槽，其贮存处理基板的处理液，并使该基板浸渍于处理液中；和保持部件，其将所述基板以立起姿势进行保持，并以相对于所述槽能够在所述基板的交接位置与处理位置之间升降的方式设置，所述保持部件具有从下方保持所述基板的保持槽，在所述槽设有保持部，该保持部在所述保持部件于所述处理位置保持着所述基板的状态下，在与所述保持槽相比的上方、且在包含所述基板的表面的法线的铅垂方向上的假想面的水平方向的两侧位置处与所述基板抵接，抑制所述基板的旋转。
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