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申请/专利权人：临沂市航达数控设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种真空镀晶膜机，包括真空作业台、晶片装夹部和光照烤箱，真空作业台通过机架支撑在一定高度上，为表面设有吸气孔的平台面腔体结构，吸气孔呈点阵式均布排列，其底部连接真空泵，晶片装夹部由下装夹框和上装夹框组成，下装夹框与安装在机架两侧的第一气缸组的四个气缸的活塞杆端连接，上装夹框与安装在下装夹框两侧的第二气缸组连接，光照烤箱安装在机架四角的同步升降丝杆上，通过同步升降丝杆实现升降作业，光照烤箱由加热灯管、反光板组成。本实用新型通过负压作业将软化的晶片附着在板料的上表面以及侧面的半包围加工方式，产品美观度好、附着强度好，结构简单，运行质量稳定，产生有较好的社会经济效益。
主权项：1.一种真空镀晶膜机，包括真空作业台（1）、晶片装夹部（2）和光照烤箱（3），其特征在于，所述真空作业台（1）通过机架（12）支撑在一定高度上，所述真空作业台（1）为表面设有吸气孔（5）的平台面腔体结构，所述吸气孔（5）呈点阵式均布排列，其底部通过气体管路（6）连接真空泵（7），所述晶片装夹部（2）由下装夹框（9）和上装夹框（10）组成，所述下装夹框（9）框体与安装在机架（12）两侧的第一气缸组（8）的四个气缸的活塞杆端连接，所述上装夹框（10）与安装在下装夹框（9）框体两侧的第二气缸组（11）的四个气缸的活塞杆端连接，所述光照烤箱（3）安装在机架（12）四角的同步升降丝杆（4）上，所述光照烤箱（3）由加热灯管（13）、反光板组成。
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