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申请/专利权人：大连海事大学
摘要：本实用新型公开了一种测等离子体电导率与实现等离子体清洗的装置，其包括激励电源组件、气体放电组件和探针诊断系统，所述激励电源组件为所述真空箱内的电极供电，所述气瓶与所述进气阀门相连，用于向所述真空箱内通入工艺气体，所述真空泵与所述排气阀门相连接，用于抽取所述真空箱内的气体，为测量等离子体电导率和实现等离子体清洗提供合适的气压环境，所述探针诊断系统与所述双探针连接，用于测量记录流经等离子体的电流和电导率，所述真空箱的顶部可开启，可放入待清洗物品，本实用新型与传统测量等离子体电导率的方法相比，测量误差小，测量效率高，且能够利用产生的等离子体实现对待清洗物体的清洗。
主权项：1.一种测等离子体电导率与实现等离子体清洗的装置，其特征在于，包括：激励电源组件1、气体放电组件2和探针诊断系统3；所述气体放电组件2包括真空箱21、进气阀门22、排气阀门23、压力表24、密封插头25、电极26、双探针27、真空泵28、减压阀29和气瓶210；所述真空箱21的顶部可打开，所述真空箱21的顶部设有所述进气阀门22、所述排气阀门23和所述压力表24；所述密封插头25设于所述真空箱21的顶部和侧壁；所述电极26设于所述真空箱21的内部；所述真空箱21的侧壁上开设探针孔212，所述双探针27穿过所述探针孔212伸入所述真空箱21的内部，所述双探针27设于所述电极26之间；所述真空泵28与所述排气阀门23相连接，所述气瓶210与所述进气阀门22相连接，所述减压阀29设于所述进气阀门22和所述气瓶210之间；所述激励电源组件1与所述电极26相连接，所述探针诊断系统3与所述双探针27的一端相连接。
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百度查询： 大连海事大学 一种测等离子体电导率与实现等离子体清洗的装置
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