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用于光致抗蚀剂底层的涂料组合物 

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申请/专利权人:罗门哈斯电子材料韩国有限公司

摘要:一种涂料组合物,其包含含有异氰脲酸酯基团和可交联基团的可交联聚酯聚合物;交联剂;以及酸催化剂,其中所述可交联聚酯聚合物和所述交联剂中的至少一种包括含碘聚合物。

主权项:1.一种涂料组合物,其包含:含有异氰脲酸酯基团和可交联基团的可交联聚酯聚合物;交联剂;以及酸催化剂;其中,所述交联剂包含含碘聚合物,所述交联剂包含衍生自具有式3的单体的含碘聚甲基丙烯酸酯聚合物: 其中,在式3中,Ra是氢、氟、氰基、C1-10烷基、或C1-10氟烷基;A是未取代或取代的C1-30亚烷基、未取代或取代的C3-30环亚烷基、未取代或取代的C1-30杂环亚烷基、未取代或取代的C6-30亚芳基、未取代或取代的二价C7-30芳基烷基、未取代或取代的C1-30杂亚芳基、或者未取代或取代的二价C3-30杂芳基烷基;L是-O-、-OC=O-、-C=OO-、-OSO2-、-SO2O-、-NHSO2-、-SO2NH-、-NHCO-、-CONH-、-SO2-、或-SO-;I是碘原子;每个X独立地是-F、-Cl、-Br、羟基、氰基、硝基、氨基、酰胺基、肼基、腙基、羧酸基或其盐、磺酸基或其盐、磷酸基或其盐、未取代或取代的C1-30烷基、未取代或取代的C2-30烯基、未取代或取代的C2-30炔基、未取代或取代的C1-30烷氧基、未取代或取代的C3-30环烷基、未取代或取代的C1-30杂环烷基、未取代或取代的C3-30环烯基、未取代或取代的C1-30杂环烯基、未取代或取代的C6-30芳基、未取代或取代的C6-30芳氧基、未取代或取代的C6-30芳硫基、未取代或取代的C7-30芳基烷基、未取代或取代的C1-30杂芳基、未取代或取代的C2-30杂芳氧基、未取代或取代的C2-30杂芳硫基、或者未取代或取代的C3-30杂芳基烷基;并且m是0至4的整数;n是1至3的整数;并且m和n的和小于6。

全文数据:

权利要求:

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