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申请/专利权人：株式会社斯库林集团
摘要：本发明提供一种基板处理装置以及基板处理方法，向被施加浮起力并搬运的基板良好地涂敷处理液。涂敷装置1具有：搬运机构5，使由浮起工作台部3被施加浮起力的浮起基板W沿着X方向移动；测量器72，测量浮起基板W的铅垂位置；以及测量器移动部76，使测量器72沿着Y方向移动。测量器72通过沿着Y方向移动，测量Y方向的不同的多个地点上的浮起基板W的铅垂位置。
主权项：1.一种基板处理装置，处理具有第一主面及第二主面的基板，其中，所述基板处理装置具有：浮起机构，对所述第一主面在铅垂方向上向上的所述基板施加浮起力；搬运机构，使被施加所述浮起力的所述基板即浮起基板沿着第一方向移动，所述第一方向为水平方向；喷嘴，具有沿着与所述第一方向正交的第二方向延伸的喷出口，能够从所述喷出口朝向所述浮起基板的所述第一主面喷出处理液，所述第二方向为水平方向；测量器，测量所述浮起基板的铅垂位置；测量器移动机构，使所述测量器朝向所述第二方向以及所述第一方向的上游侧以及下游侧移动；以及缓冲部，所述缓冲部设置于如下位置：相对于所述喷嘴位于所述第一方向的上游侧，且至少与所述喷嘴的所述喷出口的顶端部在水平方向上重叠，所述测量器移动机构使所述测量器在第一位置至第二位置之间沿着所述第二方向移动，所述第一位置是能够测量所述浮起基板的来自所述喷嘴的所述处理液附着于所述浮起基板的水平位置即附着水平位置上的铅垂位置的位置，所述第二位置是能够测量所述浮起基板的所述喷嘴喷出所述处理液时的所述缓冲部的水平位置上的铅垂位置的位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社斯库林集团 基板处理装置和基板处理方法
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