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申请/专利权人：北京惠然肯来科技中心(有限合伙);惠然科技有限公司
摘要：本申请公开了一种用于粒子束控制装置的磁物镜结构及粒子束控制装置。该磁物镜结构包括：物镜磁体；物镜内极靴，其装配面上设有多个沿圆周均匀分布的第一固定孔，通过第一固定部件与第一固定孔的相互配合固定在物镜磁体上，第一固定部件为可拆卸式固定部件，圆周的圆心与物镜内极靴的轴线重合；以及物镜外极靴，其装配面上设有多个沿同一圆周均匀分布的第二固定孔，通过第二固定部件与第二固定孔的相互配合固定在物镜磁体上并与物镜内极靴同轴，第二固定部件为可拆卸式固定部件。通过本申请实施例的方案，能够将物镜内极靴和物镜外极靴独立安装在物镜磁体上。在对中过程中，紧固操作所导致的回弹力和摩擦力不会经由物镜磁体作用到物镜内外极靴，从而消除了橡胶圈对物镜内外极靴的对中过程和装配过程的影响，有效地提高了对中精度和效率。
主权项：1.一种用于粒子束控制装置的磁物镜结构，其特征在于，包括：物镜磁体（11）；物镜内极靴（12），其装配面上设有多个第一固定孔，所述多个第一固定孔沿圆周均匀分布，使得所述物镜内极靴（12）通过第一固定部件与第一固定孔的相互配合固定在所述物镜磁体（11）上，其中，所述第一固定部件为可拆卸式固定部件，所述圆周的圆心与所述物镜内极靴的轴线重合；以及物镜外极靴（13），其装配面上设有多个第二固定孔，所述多个第二固定孔沿所述圆周均匀分布，使得所述物镜外极靴（13）通过第二固定部件与第二固定孔的相互配合固定在所述物镜磁体（11）上，并与所述物镜内极靴（12）同轴，其中，所述第二固定部件为可拆卸式固定部件。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京惠然肯来科技中心(有限合伙) 惠然科技有限公司 用于粒子束控制装置的磁物镜结构及粒子束控制装置
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