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申请/专利权人：TOTO株式会社
摘要：本发明的静电吸盘具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、第2主面；基座板，具有气体导入路；及第1多孔质部，与所述气体导入路相对，所述第1多孔质部包含第1多孔区域、比所述第1多孔区域更致密的第1致密区域，所述第1多孔区域具有：多个第1疏松部分；及第1紧密部分，具有比所述第1疏松部分的密度更高的密度，所述多个第1疏松部分在从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的方向上延伸，所述第1紧密部分位于所述多个第1疏松部分的彼此之间，所述第1疏松部分具有第1壁部，在与所述第1方向大致正交的第2方向上，所述第1壁部的尺寸的最小值小于所述第1紧密部分的尺寸的最小值，所述气体导入路的至少一部分由曲线形成。
主权项：1.一种静电吸盘，具备：陶瓷电介体基板，具有放置吸附对象物的第1主面、所述第1主面相反侧的第2主面；基座板，支撑所述陶瓷电介体基板且具有气体导入路；及第1多孔质部，设置于所述陶瓷电介体基板且与所述气体导入路相对，其特征为，将从所述基座板朝向所述陶瓷电介体基板的方向作为第1方向，将与所述第1方向正交的方向作为第2方向时，所述第1多孔质部包含第1多孔区域和比所述第1多孔区域更致密的第1致密区域，所述第1致密区域为包围所述第1多孔区域的侧面的筒状，所述第1多孔区域具有：多个第1疏松部分，具有多个孔；及第1紧密部分，具有比所述第1疏松部分的密度更高的密度，在所述第2方向上的所述第1紧密部分的厚度尺寸小于在所述第2方向上的所述第1致密区域的厚度尺寸，所述多个第1疏松部分分别在所述第1方向上延伸，所述第1紧密部分位于所述多个第1疏松部分的彼此之间，所述第1疏松部分具有设置在所述多个孔的彼此之间的第1壁部，在所述第2方向上，所述第1壁部的厚度尺寸的最小值小于所述第1紧密部分的厚度尺寸的最小值，所述气体导入路的所述陶瓷电介体基板侧的开口的缘的至少一部分由曲线形成。
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