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申请/专利权人：旭化成株式会社
摘要：显示低介电损耗角正切、介电损耗角正切的频率依赖性少、热失重温度高的聚酰亚胺固化膜的制造方法。该方法包括：工序1，将包含聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物涂布在基板上，在该基板上形成感光性树脂层；工序2，将所得感光性树脂层进行干燥加热；工序3，对所得感光性树脂层进行曝光；工序4，对所得感光性树脂层进行显影；工序5，以150℃～250℃对残留在该基板上的感光性树脂层进行加热处理，形成固化膜，工序2和或5在50托以上且580托以下的压力下实施，在所得聚酰亚胺固化膜的聚酰亚胺中，相对于包含源自四羧酸与二胺的结构的重复单元的分子量，酰亚胺基所占的比例即酰亚胺基浓度为12wt％～30wt％。
主权项：1.一种聚酰亚胺固化膜的制造方法，其特征在于，其包括以下的工序：工序1，将包含聚酰亚胺前体的感光性树脂组合物涂布在基板上，在该基板上形成感光性树脂层；工序2，将所得感光性树脂层进行干燥加热；工序3，将所得感光性树脂层进行曝光；工序4，将所得感光性树脂层进行显影；以及工序5，以150℃～250℃对残留在该基板上的感光性树脂层进行加热处理，形成固化膜，所述工序2和或5在50托以上且580托以下的压力下实施，并且，在所得聚酰亚胺固化膜的聚酰亚胺中，相对于包含源自四羧酸与二胺的结构的重复单元的分子量，酰亚胺基所占的比例、即酰亚胺基浓度为12wt％～30wt％。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 旭化成株式会社 聚酰亚胺固化膜的制造方法
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