龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：深圳大学
摘要：本发明公开了一种氧化镓异质结构及其制备方法、光电传感器。氧化镓异质结构的制备方法，包括：在衬底的表面制备金属层；在所述金属层的表面制备非晶氧化镓薄膜，对所述非晶氧化镓薄膜进行低温退火处理，得到氧化镓异质结构。所述金属锌层一方面可以促进氧化镓结晶，使其在较低退火温度条件下形成α相和β相；另一方面，退火过程中金属锌会氧化形成氧化锌并与氧化镓形成异质结构，进一步提高光电传感器的性能。本发明所提供的制备方法降低了氧化镓结晶的退火温度，简化了传感器的制备工艺，提高了传感器的光电性能。
主权项：1.一种氧化镓异质结构的制备方法，其特征在于，包括：在衬底的表面制备金属层，所述金属层的材质为锌或钽；在所述金属层的表面制备非晶氧化镓薄膜，对所述非晶氧化镓薄膜进行退火处理，得到氧化镓异质结构。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳大学 一种氧化镓异质结构及其制备方法、光电传感器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号