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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：本申请实施例涉及用于多光束检验系统的场曲率校正。揭示多光束电子束柱及使用此些多光束电子束柱的检验系统。根据本发明配置的多光束电子束柱可包含电子源及多透镜阵列，所述多透镜阵列经配置以利用由所述电子源提供的电子产生多个细光束。所述多透镜阵列可进一步经配置以移位所述多个细光束中的至少一个特定细光束的焦点，使得所述至少一个特定细光束的所述焦点与所述多个细光束中的至少一个其它细光束的焦点不同。
主权项：1.一种设备，其包括：电子源；及多透镜阵列，其经配置以利用由所述电子源提供的电子产生多个细光束，所述多透镜阵列进一步经配置以移位所述多个细光束中的至少一个特定细光束的焦点，使得所述至少一个特定细光束的所述焦点与所述多个细光束中的至少一个其它细光束的焦点不同，其中所述多透镜阵列包含具有界定在其中的开口的至少三个静电板以形成透镜阵列，其中所述至少三个静电板包括第一静电板和第二静电板，其中绝缘层定位于所述第一静电板和所述第二静电板之间，其中所述第一静电板和所述第二静电板各自包含多个经蚀刻开口，其中所述经蚀刻开口分别由导电材料涂布以容许经由接触垫将个别可寻址电势施加到所述经蚀刻开口，其中所述绝缘层包含多个开口，其中所述绝缘层的所述开口的尺寸大于所述第一静电板和所述第二静电板的所述经蚀刻开口的尺寸，其中所述绝缘层经配置以涂布有原子层沉积电荷漏极以减轻所述第一静电板和所述第二静电板之间的串扰，其中所述至少三个静电板中的一者经配置以经由所述经蚀刻开口而被供应所述个别可寻址电势，借此提供焦点移位；其中提供所述焦点移位的静电板设置于所述至少三个静电板中的至少两个之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 用于多光束检验系统的场曲率校正
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