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申请/专利权人：松山湖材料实验室;广东中民工业技术创新研究院有限公司
摘要：本申请提供一种复合结构氮化铝单晶复合衬底及其制备方法、紫外发光器件，涉及复合材料领域。复合结构氮化铝单晶复合衬底包括：具有C轴取向的衬底、形成于衬底的表面的单晶氮化铝薄膜，以及形成于单晶氮化铝薄膜的表面的柱状晶氮化铝薄膜，其中单晶氮化铝薄膜的应力状态为压应力。复合结构氮化铝单晶复合衬底能够缓解单晶氮化铝薄膜中所具有的横向压应力结构，改善单晶氮化铝薄膜对于上层器件所施加的强压力，有利于后续紫外发光器件的制备。
主权项：1.一种复合结构氮化铝单晶复合衬底，其特征在于，包括：具有C轴取向的衬底；形成于所述衬底的表面的单晶氮化铝薄膜，所述单晶氮化铝薄膜的应力状态为压应力；以及形成于所述单晶氮化铝薄膜的表面的柱状晶氮化铝薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 松山湖材料实验室 广东中民工业技术创新研究院有限公司 复合结构氮化铝单晶复合衬底及其制备方法、紫外发光器件
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