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申请/专利权人：安徽工业大学
摘要：本发明涉及功能薄膜制备技术领域，具体涉及一种薄膜传感器用多层复合绝缘薄膜、制备方法及其应用，该多层复合绝缘薄膜自下而上依次包括金属基体、Cr过渡层、中频磁控溅射Al2O3绝缘层、原子层沉积Al2O3绝缘层、中频磁控溅射Al2O3绝缘层。通过Cr过渡层提高了膜基结合强度，采用磁控溅射与原子层沉积ALD技术相复合制备了多层Al2O3薄膜，原子层沉积技术制备的Al2O3薄膜生长致密，填充了磁控溅射沉积的Al2O3薄膜中微孔等组织结构缺陷，从而达到绝缘封孔目的，“三明治”结构Al2O3薄膜有效地阻断了传感层与金属基体之间的电子传导，同时采用合适的刻蚀清洗工艺和金属过渡层，各层薄膜间具有良好的结合强度，可应用于金属表面薄膜传感器制备。
主权项：1.一种金属表面薄膜传感器用多层复合绝缘薄膜，其特征在于，由下至上依次包括金属基体、Cr过渡层、多层复合A2O3绝缘薄膜，所述多层复合A2O3绝缘薄膜至少包括三层Al2O3绝缘层，由下至上分别为第一Al2O3绝缘层、第二Al2O3绝缘层、第三Al2O3绝缘层，所述第一Al2O3绝缘层和第三Al2O3绝缘层为中频磁控溅射Al2O3绝缘层，所述第二Al2O3绝缘层为原子层沉积Al2O3绝缘层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽工业大学 一种薄膜传感器用多层复合绝缘薄膜、制备方法及其应用
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