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申请/专利权人：富士胶片株式会社
摘要：本发明提供一种感光性树脂组合物及其制造方法以及使用上述感光性树脂组合物而成的抗蚀剂膜、图案形成方法及电子器件的制造方法，该感光性树脂组合物包含烯属不饱和化合物、通过酸的作用而极性增大的树脂及金属原子，上述金属原子的含量的合计相对于感光性树脂组合物的总质量为1ppt以上且30ppb以下，上述烯属不饱和化合物的含量相对于感光性树脂组合物的总质量为0.0001质量％以上且1质量％以下。
主权项：1.一种感光性树脂组合物，其包含分子量为100～600的烯属不饱和化合物、通过酸的作用而极性增大的树脂A、金属原子、光产酸剂及酸扩散控制剂，所述树脂A不具有芳香族基，所述树脂A含有具有酸分解性基团的结构单元，所述酸分解性基团具有极性基团被通过酸的作用进行分解而脱离的基团保护的结构，所述树脂A含有具有选自由内酯结构、磺内酯结构及碳酸酯结构组成的群组中的至少1种的结构单元，所述感光性树脂组合物相对于感光性树脂组合物的总质量包含0.0001质量％以上且1质量％以下的所述分子量为100～600的烯属不饱和化合物，所述金属原子的含量的合计相对于感光性树脂组合物的总质量为1ppt以上且10ppb以下，所述金属原子中，Li、Na、Mg、Al、K、Ca、Cr、Mn、Fe、Co、Ni、Cu、Zn、Mo、Ag、Cd、Sn、W、Au及Pb的含量的合计相对于感光性树脂组合物的总质量为1ppt以上且10ppb以下。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 富士胶片株式会社 感光性树脂组合物及其制造方法、抗蚀剂膜、图案形成方法以及电子器件的制造方法
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