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申请/专利权人：纳美半导体设备(广州)有限公司
摘要：本发明涉及晶圆测试技术领域，具体涉及一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，包括探针装置；所述探针装置包括壳体以及抽气泵；所述壳体内设有导风板；所述壳体转动设有探针座；所述导风板与壳体之间形成有上气腔；所述导风板与探针座之间形成有下气腔；所述壳体设有进风口；所述进风口与下气腔连通；所述导风板贯穿设有多个通风口；所述抽气泵与上气腔连通；所述探针座的底部设有多个测试探针。本发明通过设置抽气结构，在抽气泵的抽气作用下，气体依次经过进风口、下气腔、通风口以及上气腔后进入至抽气泵中，从而能够增强探针座周围的气流流动，能够对探针座进行散热处理，从而保证了晶圆测试探针台的性能与效率。
主权项：1.一种具有高性能高效率的晶圆测试探针台，其特征在于：包括探针装置；所述探针装置包括壳体以及设于壳体顶部的抽气泵；所述壳体内设有圆形状的导风板；所述壳体的底部转动设有圆形状的探针座；所述导风板的顶部与壳体之间形成有上气腔；所述导风板的底部与探针座之间形成有下气腔；所述壳体的底部在探针座的侧面设有进风口；所述进风口与下气腔连通；所述导风板贯穿设有多个通风口；所述抽气泵与上气腔连通；所述探针座的底部设有多个测试探针；所述探针座的顶部沿周向设有多个旋涡状导流板；相邻两个旋涡状导流板之间形成有进风通道；所述进风通道的一端与进风口连通；所述进风通道的另一端与下气腔连通；所述通风口设于下气腔顶部。
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