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申请/专利权人：江苏富乐华半导体科技股份有限公司

摘要：本发明涉及热沉基板技术领域，具体为一种金刚石激光热沉基板制备方法。本发明利用金刚石材料的高导热率将其应用于高功率半导体激光器，可显著提高激光器的散热效果，大大提高了激光器的应用范围。本发明还通过对金刚石瓷片进行磁控溅射处理，溅射种子Ti层和种子Cu层，然后再电镀金属层，使其可以更好地应用于半导体激光器领域。本发明在镀金后的基板上还镀了改性纳米氮化硼层，纳米氮化硼的导热性能优异，在纳米氮化硼上复合了二氧化硅，二氧化硅的复合可以提高基板的耐腐蚀性和耐磨性；同时还加入了缓蚀剂1‑氨基苯并三唑做进一步改性，进一步提高了基板的耐腐蚀性。

主权项：1.一种金刚石激光热沉基板制备方法，其特征在于：包括以下步骤：步骤一：取金刚石瓷片，清洗，然后进行磁控溅射处理，依次溅射种子Ti层和种子Cu层，得到溅射后的瓷片；步骤二：对溅射后的瓷片进行电镀底铜处理，在镀完底铜的瓷片上通过贴膜、曝光、显影、闪蚀、去膜进行一次图形转移制作；一次图形制作完成后，再通过贴膜、曝光、显影工序进行二次图形转移制作；步骤三：通过电镀，对二次图形转移显影区域进行镀铜加厚；步骤四：镀铜后，对铜面进行研磨抛光处理，去除产品图形间距内剩余干膜，然后进行喷砂处理；步骤五：使用电镀镍金工艺对产品进行表面处理；镀金后，通过涂胶、曝光、显影方式进行第三次图形转移，露出需要电镀AuSn区域，其余位置被光刻胶覆盖；通过电镀工艺，在产品表面镀上AuSn合金；步骤六：AuSn电镀完成后再次去除光刻胶，在表面电镀金层，得到镀金后的基板，划片，得到金刚石激光热沉基板；步骤六中，在镀金后的基板上，还镀有改性纳米氮化硼层；制备方法为：将镀金后的基板放入预镀液中，在65-70℃下进行超声辅助预镀1-1.5h，预镀电流密度为10mAcm2，超声功率为300W，得到预镀基板，划片，得到金刚石激光热沉基板；所述预镀液的组成为：以1-丁基-3-甲基咪唑四氟硼酸盐离子液体为溶剂，氯金酸50-65gL、乙内酰脲5-7gL、改性纳米氮化硼6-8gL；所述改性纳米氮化硼的制备方法为：取纳米氮化硼、去离子水、乙醇，混合均匀，加入正硅酸四乙酯、硅烷偶联剂KH550，反应5-6h，加入1-氨基苯并三唑，超声分散1-2h，过滤、洗涤、干燥，得到改性纳米氮化硼；所述纳米氮化硼的制备方法为：取氨硼烷，在1090-1110℃下保温1-1.5h，得到氮化硼泡沫；加入无水乙醇将氮化硼泡沫浸没，超声1-2min，抽滤、干燥，得到纳米氮化硼。

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