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申请/专利权人：厦门蚨祺自动化设备有限公司
摘要：本实用新型涉及一种晶圆OCR设备，其包括多光谱明场照明光源、多光谱暗场照明光源、菲涅尔透镜、分光镜、相机和控制器，所述多光谱明场照明光源正对菲涅尔透镜设置，所述分光镜置于菲涅尔透镜远离多光谱明场照明光源的一侧，且所述分光镜与菲涅尔透镜呈45°夹角设置；所述相机置于分光镜的正上方，且所述相机的镜头竖直向下设置；所述多光谱暗场照明光源置于分光镜的正下方，所述多光谱暗场照明光源上设有透光孔，所述相机的镜头正对透光孔，且所述多光谱明场照明光源发出的光线经菲涅尔透镜和分光镜后可穿过透光孔；所述控制器连接多光谱明场照明光源和多光谱暗场照明光源。本实用新型能够提供多光谱及明暗场照明，可以适用于各种材质的晶圆。
主权项：1.一种晶圆OCR设备，其特征在于：包括多光谱明场照明光源、多光谱暗场照明光源、菲涅尔透镜、分光镜、相机和控制器，所述多光谱明场照明光源正对菲涅尔透镜设置，所述分光镜置于菲涅尔透镜远离多光谱明场照明光源的一侧，且所述分光镜与菲涅尔透镜呈45°夹角设置；所述相机置于分光镜的正上方，且所述相机的镜头竖直向下设置；所述多光谱暗场照明光源置于分光镜的正下方，所述多光谱暗场照明光源上设有透光孔，所述相机的镜头正对透光孔，且所述多光谱明场照明光源发出的光线经菲涅尔透镜和分光镜后可穿过透光孔；所述控制器连接多光谱明场照明光源和多光谱暗场照明光源。
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权利要求：
百度查询： 厦门蚨祺自动化设备有限公司 一种晶圆OCR设备
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