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申请/专利权人:福建省佑达环保材料有限公司
摘要:本发明公开了一种OLED精密金属掩膜板用电解清洗液,其由无机碱、螯合剂、表面活性剂、有机助剂、抗蚀剂和去离子水组成。该电解清洗液洗净效果好,易清洗不残留腐蚀,产品材料环保,可实现对蒸镀后FMM表面及狭缝中残留的微小污染物的有效清洗,并能有效提高生产效率,提高产品良率。
主权项:1.一种OLED精密金属掩膜板用电解清洗液,其特征在于,以质量百分数之和为100%计,其所用原料及各原料占比为:无机碱5%~10%、螯合剂3%-10%、表面活性剂3%~10%、抗蚀剂0.1%-1%、有机助剂8%-15%、余量为去离子水。
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权利要求:
百度查询: 福建省佑达环保材料有限公司 一种OLED精密金属掩膜板用电解清洗液
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