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申请/专利权人：松山湖材料实验室;广东中民工业技术创新研究院有限公司
摘要：一种超薄氮化铝单晶复合衬底及其制备方法和紫外发光器件，属于复合材料制备领域。该制备方法包括：用氧等离子体处理c轴取向的蓝宝石衬底，以在蓝宝石衬底的表面形成改性层；在改性层上沉积厚度为30nm‑100nm的多晶氮化铝膜层，高温退火以使多晶氮化铝重结晶，冷却，获得超薄氮化铝单晶复合衬底；通过氧等离子体对c轴取向的蓝宝石衬底表面进行处理以及控制多晶氮化铝膜层的厚度，使得超薄的多晶氮化铝膜层在高温退火重结晶后，不仅能够获得无黑点且界面稳定性佳的高质量单晶氮化铝膜层，而且获得的单晶氮化铝膜层的应力状态为张应力，张应力状态有利于实现后续中紫外深紫外波段发光二极管的外延制备。
主权项：1.一种超薄氮化铝单晶复合衬底的制备方法，其特征在于，包括：用氧等离子体处理c轴取向的蓝宝石衬底，以在所述蓝宝石衬底的表面形成改性层；在所述改性层上沉积多晶氮化铝膜层，高温退火以使多晶氮化铝重结晶形成单晶氮化铝膜层，冷却，获得超薄氮化铝单晶复合衬底；其中，所述多晶氮化铝膜层的厚度为30nm-100nm；其中所述氧等离子体处理在腔体真空度为0.1Pa-1Pa，使用纯氧气作为氧源气进行处理，其中处理温度为室温条件，处理时间为1min-10min。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 松山湖材料实验室 广东中民工业技术创新研究院有限公司 超薄氮化铝单晶复合衬底及其制备方法和紫外发光器件
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