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申请/专利权人：通威太阳能(成都)有限公司
摘要：一种柔性基材双面镀膜方法及双面镀膜设备，属于半导体制备领域。柔性基材具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，柔性基材双面镀膜方法包括：S1、在第一表面形成第一膜层。S2、在第二表面形成第二膜层。S3、依次交替重复步骤S1以及S2，直至由多层第一膜层构成的第一薄膜的总厚度、以及由多层第二膜层构成的第二薄膜的总厚度均达到目标厚度为止。利用特定厚度的第一膜层和第二膜层时间上交错形成的方式，可减小第一薄膜和第二薄膜的应力释放，能够缓解因柔性基材双面镀膜造成的薄膜品质下降、柔性基材曲翘、甚至薄膜龟裂等问题，有效提高规模化生产的产品稳定性和良品率。
主权项：1.一种柔性基材双面镀膜方法，其特征在于，所述柔性基材具有沿其厚度方向相对设置的第一表面和第二表面，所述柔性基材双面镀膜方法包括：S1、在所述第一表面形成第一膜层；S2、在所述第二表面形成第二膜层；S3、依次交替重复步骤S1以及S2，直至由多层所述第一膜层构成的第一薄膜的总厚度、以及由多层所述第二膜层构成的第二薄膜的总厚度均达到目标厚度为止；其中，所述第一膜层的厚度大于0且不大于50nm，所述第二膜层的厚度大于0且不大于50nm，在所述第一表面形成的第一层所述第一膜层的应力曲翘方向与所述柔性基材的自重弯曲方向相反。
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