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申请/专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
摘要：本发明提供一种支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件，属于红外探测器技术领域，其可至少部分解决现有的红外探测器窗口片金属化工艺中手工粘贴掩膜块导致的精度不准和效率低下的问题。本发明的一种支撑板具有第一开孔、第二开孔、第三开孔和凸台，凸台设于支撑板用于与定位板接触的表面上，且凸台用于与定位板开口卡合，用于掩膜块定位。
主权项：1.一种掩膜版组件，其特征在于，包括：支撑板1-1，所述的支撑板1-1具有第一开孔1-3、第二开孔1-4、第三开孔1-5和凸台1-2，所述凸台1-2设于所述支撑板1-1用于与定位板4-1接触的表面上，且所述凸台1-2用于与定位板4-1的开口卡合，所述第一开孔1-3设于所述支撑板1-1位于所述凸台1-2一侧，用于与吸引体2-1卡合；所述第二开孔1-4设于所述支撑板1-1位于所述凸台1-2一侧，与第一开孔1-3对应，用于安装窗片；第二开孔1-5用于所述支撑板1-1在远离所述凸台1-2一侧，与金属膜生长设备固定连接；吸引体2-1，所述吸引体2-1设于所述支撑板1-1靠近所述凸台1-2一侧，与所述支撑板1-1的所述第一开孔1-3一一对应卡合，所述吸引体2-1材料为钕铁硼；掩膜块3-1，所述掩膜块3-1设于所述吸引体2-1远离所述支撑板1-1一侧，与所述定位板4-1的第四开孔4-2一一对应卡合，所述掩膜块3-1有多个，且与第二开孔1-4一一对应，所述掩膜块3-1材料为钕铁硼，直径小于2mm，所述掩膜块3-1在窗片上的投影形状为方形或者圆形，且与第四开孔4-2得形状相同；定位板4-1，所述定位板4-1设于所述支撑板1-1靠近所述凸台1-2一侧，具有第四开孔4-2，所述的第四开孔4-2与所述掩膜块3-1一一对应卡合；所述定位板4-1的开口与所述支撑板1-1的所述凸台1-2卡合。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学院上海技术物理研究所 支撑板、吸引体、掩膜块和掩膜版组件
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