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申请/专利权人：连科半导体有限公司
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅生长用的节能盖板，它涉及单晶硅生长用的设备技术领域；所述圆板上均匀设置有数个滑槽，每个滑槽内均滑动卡接有调节块，所述调节块上套接有耐高温特制弹簧，所述调节块上固定设置有腰型槽，所述限位销穿过腰型槽与圆板保持固定连接，所述圆板与调节块上粘贴有伸缩罩，所述圆板的中心与提拉杆保持固定连接；本实用新型盖板组件设计成能自由伸缩的结构，其通过耐高温特制弹簧将弧形板向外弹开，使弧形板始终能与热屏侧壁贴合，再通过伸缩罩将圆板与弧形板的镂空处进行遮盖，使热屏内空处于被封闭状态，避免高温热量从热屏内空散失，降低热量的损耗，从而实现节能降耗，降低成本的目的。
主权项：1.一种单晶硅生长用的节能盖板，其特征在于：它包含盖板组件10；所述盖板组件10由圆板1、调节块2、耐高温特制弹簧3、限位销5、伸缩罩6和提拉杆7组成；所述圆板1上均匀设置有数个滑槽，每个滑槽内均滑动卡接有调节块2，所述调节块2上套接有耐高温特制弹簧3，所述调节块2上固定设置有腰型槽4，所述限位销5穿过腰型槽4与圆板1保持固定连接，所述圆板1与调节块2上粘贴有伸缩罩6，所述圆板1的中心与提拉杆7保持固定连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 连科半导体有限公司 一种单晶硅生长用的节能盖板
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