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一种柱形工件真空表面处理夹持装置 

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申请/专利权人:龙口市比特真空技术有限公司

摘要:本实用新型公开了一种柱形工件真空表面处理夹持装置,涉及真空镀膜技术领域,包括转件盘,转件盘的上方设置有支撑座,支撑座的内部设置有驱动轴,驱动轴的底端贯穿转件盘,驱动轴的底端上设置有驱动齿轮;驱动轴的顶端设置有第一连接套,第一连接套的上方设置有转轴,转轴的顶端设置有第二连接套,第二连接套的上方设置有连接轴,连接轴的另一端设置有上太阳轮;转轴的顶端设置有上固定盘,转轴的底端设置有下固定盘,上固定盘和下固定盘之间设置有多个夹持组件,夹持组件的两端贯穿上固定盘和下固定盘,并在上固定盘和下固定盘两端的外侧均设置有行星轮,顶部多个行星轮的内部啮合有上太阳轮,底部多个行星轮的内部啮合有下太阳轮。

主权项:1.一种柱形工件真空表面处理夹持装置,包括转件盘(1),其特征在于:转件盘(1)的上方设置有支撑座(11),支撑座(11)的内部设置有驱动轴(2),驱动轴(2)的底端贯穿转件盘(1),驱动轴(2)的底端上设置有驱动齿轮(22);驱动轴(2)的顶端设置有第一连接套(23),第一连接套(23)的上方设置有转轴(24),转轴(24)的顶端设置有第二连接套(25),第二连接套(25)的上方设置有连接轴(26),连接轴(26)的另一端设置有上太阳轮(31);转轴(24)的顶端设置有上固定盘(3),转轴(24)的底端设置有下固定盘(4),上固定盘(3)和下固定盘(4)之间设置有多个夹持组件,夹持组件的两端贯穿上固定盘(3)和下固定盘(4),并在上固定盘(3)和下固定盘(4)两端的外侧均设置有行星轮(52),顶部多个行星轮(52)的内部啮合有上太阳轮(31),底部多个行星轮(52)的内部啮合有下太阳轮(41)。

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