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一种压电PN结的输出性能调控方法和装置 

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申请/专利权人:华中科技大学

摘要:本发明公开了一种压电PN结的输出性能调控方法和装置,属于压电半导体技术领域,所述压电PN结的输出性能调控方法,向绝缘基体施加机械载荷引发压电PN结加载区域内的变形。机械载荷的具体形式为均布力加载,通过调节所述正向偏压的大小、所述加载区域的轴向长度、所述绝缘基板的轴向长度和所述机械载荷的大小中的至少一个,可以调节加载区内部产生抛物线分布的非均匀应变量的大小,进而使得非均匀应变在加载区域内诱导出表面极化电荷与空间压电电荷,进一步地使界面处负向内建电场得以重构,促进了两侧多子与少子的跨界面复合,最终使压电PN结的输出性能更优。

主权项:1.一种压电PN结的输出性能调控方法,其特征在于,包括:S1:将压电PN结设置在绝缘基板的上表面,并与所述上表面的加载区域二者固定连接;所述压电PN结包括:受主掺杂的p型区域和施主掺杂的n型区域;S2:在所述压电PN结上施加正向偏压;S3:向所述压电PN结模块中的绝缘基体施加均布力加载的机械载荷,以在所述加载区域内部产生抛物线分布的非均匀应变,使得所述加载区域内诱导出表面极化电荷与压电电荷;S4:通过调节所述正向偏压的大小、所述加载区域的轴向长度、所述绝缘基板的轴向长度和所述机械载荷的大小中的至少一个实现对所述压电PN结的输出性能的调控。

全文数据:

权利要求:

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