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申请/专利权人：天合光能股份有限公司
摘要：本发明公开了一种异质结太阳能电池及其制备方法。制备方法包括如下步骤：对硅基底进行清洗制绒处理；在硅基底的两个表面分别制备本征非晶硅层；在正面本征非晶硅层上制备N型掺杂层；在背面本征非晶硅层上制备P型掺杂层；采用RPD设备在P型掺杂层上制备背面含铟TCO种子层，利用PVD设备在背面含铟TCO种子层上制备背面无铟TCO薄膜；利用PVD设备在N型掺杂层上制备正面含铟TCO种子层，并在正面含铟TCO种子层上制备正面无铟TCO薄膜；以及分别制备背面电极、正面电极。本申请可以有效增加RPD与PVD结合设备的正常运行时间以及有效运行时间，增加设备有效产能，降低电池制造成本。
主权项：1.一种异质结太阳能电池的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：对硅基底进行清洗制绒处理；在硅基底的两个表面分别制备本征非晶硅层；在硅基底的正面本征非晶硅层上制备N型掺杂层；在硅基底的背面本征非晶硅层上制备P型掺杂层；采用RPD设备在所述P型掺杂层上制备背面含铟TCO种子层，利用PVD设备在所述背面含铟TCO种子层上制备背面无铟TCO薄膜；其中，所述背面含铟TCO种子层的厚度为1nm～20nm，所述背面无铟TCO薄膜的厚度为80nm～120nm；利用PVD设备在所述N型掺杂层上制备正面含铟TCO种子层，并在所述正面含铟TCO种子层上制备正面无铟TCO薄膜；以及在所述背面无铟TCO薄膜上制备背面电极以及在所述正面无铟TCO薄膜上制备正面电极。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 天合光能股份有限公司 异质结太阳能电池及其制备方法
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