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申请/专利权人：科磊股份有限公司
摘要：多个电子细束从单个电子束中分离。所述电子束通过加速管、限束孔径、安置于电子束源与所述加速管之间的阳极、所述限束孔径下游的聚焦透镜及所述加速管下游的微孔径阵列。所述微孔径阵列从所述电子束产生细束。所述电子束可从发散照明射束聚焦成远心照明射束。
主权项：1.一种系统，其包括：电子束源，其产生电子束，其中所述电子束源包含尖端、抑制电极及提取电极；加速管，其安置于所述电子束的路径中，其中所述加速管具有入口以及与所述入口相对的出口，且其中所述入口从所述电子束源接收所述电子束；限束孔径，其安置于所述加速管中，其中所述限束孔径位于靠近所述电子束源的所述入口附近；阳极，其安置于所述电子束源与所述加速管之间的所述电子束的所述路径中；聚焦透镜，其安置于所述限束孔径下游的所述电子束的所述路径中；及微孔径阵列，其安置于所述加速管和所述聚焦透镜下游的所述电子束的所述路径中，其中所述微孔径阵列经配置以从所述电子束产生多个细束。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 科磊股份有限公司 高处理量多电子束系统
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