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申请/专利权人：宁波齐芯半导体科技有限公司
摘要：本实用新型属于防遮板领域，具体的说是一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，包括底板和套壳；所述底板的顶端上转动连接有两组底座，两组所述底座分别与从动齿轮和传动齿轮固定连接，所述从动齿轮和传动齿轮啮合，所述传动齿轮的顶端固定连接有驱动电机，一组所述底座的顶端固定连接有转动板，所述转动板的顶端上固定连接有四组固定杆，所述固定杆的靠近底端的位置上固定连接有支撑环，所述支撑环和毛刷筒的底端接触，所述固定杆上转动连接有毛刷筒，所述套壳上固定连接有四组支撑块，所述支撑块上固定连接有固定环；通过清洁机构的结构设计，实现了便于对防遮板主体进行清理的功能。
主权项：1.一种溅射设备晶振防遮板的清洁设备，包括底板1和套壳24；其特征在于：所述底板1上设置有清洁机构，所述清洁机构包括两组底座20，所述底座20转动连接在底板1上，两组所述底座20分别与从动齿轮21和传动齿轮22固定连接，所述从动齿轮21和传动齿轮22啮合，所述传动齿轮22的顶端固定连接有驱动电机23，一组所述底座20的顶端固定连接有转动板25，所述转动板25的顶端上固定连接有四组固定杆28，所述固定杆28的靠近底端的位置上固定连接有支撑环40，所述支撑环40和毛刷筒29的底端接触，所述固定杆28上转动连接有毛刷筒29，所述套壳24上固定连接有四组支撑块27，所述支撑块27上固定连接有固定环26，所述固定环26的顶端插设有防遮板主体41，所述套壳24固定连接在底板1上，所述底板1的底端上固定连接有四组支撑座33。
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权利要求：
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