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申请/专利权人：河北工业大学
摘要：本发明涉及传感器技术领域，尤其涉及一种基于等离子体处理的湿度传感器及其制备方法，所述湿度传感器包括电极片，电极片包括依次设置的聚二甲基硅氧烷薄膜、激光诱导石墨烯层和氧化石墨烯层；在激光诱导石墨烯层的两个端点分别设有接触位点；两条导线分别连接两个接触位点；偏聚二氟乙烯膜贴附于电极片的顶层作为封装层。所述制备方法通过等离子体射流氧化处理聚二甲基硅氧烷‑激光诱导石墨烯‑氧化石墨烯层后，得到电极片。等离子体射流氧化处理使石墨烯表面富含大量的含氧官能团，使石墨烯具有优异的亲水性，吸附更多的水分子，其作为湿度传感器的敏感层性能更好、稳定性更强、灵敏度更高。
主权项：1.一种基于等离子体处理的湿度传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：S100、将聚酰亚胺薄膜贴附于玻璃基底上，使用激光诱导出石墨烯叉指电极，以形成激光诱导石墨烯-聚酰亚胺层；S200、将激光诱导石墨烯-聚酰亚胺层从玻璃基底上撕下贴附于模具内；S300、将聚二甲基硅氧烷溶液与固化剂混合，制备第一溶液；S400、将第一溶液倒入模具内干燥，得到聚二甲基硅氧烷-激光诱导石墨烯-聚酰亚胺层；S500、将聚二甲基硅氧烷-激光诱导石墨烯-聚酰亚胺层从模具内取出，去除聚酰亚胺层，得到聚二甲基硅氧烷-激光诱导石墨烯层；S600、在石墨烯叉指电极的顶层涂布氧化石墨烯水溶液、干燥，得到聚二甲基硅氧烷-激光诱导石墨烯-氧化石墨烯层；S700、通过等离子体射流氧化处理聚二甲基硅氧烷-激光诱导石墨烯-氧化石墨烯层后，得到电极片；其中，等离子体射流氧化处理所使用的气体为氩气、乙醇和氧气的混合气体，等离子体处理过程中使用质量流量计控制氩气、乙醇和氧气三种气体的混合比例；其中，氩气的流量为4000~6000体积流量单位、乙醇的流量为20~40体积流量单位、氧气的流量为2~4体积流量单位；S800、将偏聚二氟乙烯膜贴附于电极片的顶层，得到湿度传感器。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北工业大学 一种基于等离子体处理的湿度传感器及其制备方法
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