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具有处理器和NAND闪存的键合半导体器件及其形成方法 

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申请/专利权人:长江存储科技有限责任公司

摘要:公开了半导体器件及其制造方法的实施例。在一个示例中,一种半导体器件包括第一半导体结构,第一半导体结构包括处理器、静态随机存取存储器SRAM单元的阵列以及包括多个第一键合触点的第一键合层。所述半导体器件还包括第二半导体结构,第二半导体结构包括NAND存储单元的阵列以及包括多个第二键合触点的第二键合层。所述半导体器件还包括在第一键合层和第二键合层之间的键合界面。第一键合触点和第二键合触点在键合界面处接触。

主权项:1.一种半导体器件,包括:第一半导体结构,其包括处理器、静态随机存取存储器(SRAM)单元的阵列、以及包括多个第一键合触点的第一键合层,其中,在垂直方向的投影方向上,所述SRAM位于所述第一半导体结构中的没有所述多个第一键合触点的区域;第二半导体结构,其包括NAND存储单元的阵列以及包括多个第二键合触点的第二键合层;以及在所述第一键合层和所述第二键合层之间的键合界面,其中,所述第一键合触点与所述第二键合触点在所述键合界面处接触,并且其中,所述NAND存储单元与所述处理器之间以及所述NAND存储单元与所述SRAM单元之间的数据传输是通过跨越所述键合界面的键合触点来执行的,其中,所述处理器与所述SRAM和用于所述NAND存储单元的阵列的外围电路在同一衬底上。

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权利要求:

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