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申请/专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
摘要：本发明实施例提供了一种半导体设备的消息上报方法、装置及半导体设备，该方法包括：获取针对半导体设备的假脱机功能的配置参数；在半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合配置参数的消息进行存储；在半导体设备与工厂端重连成功后，将存储的符合配置参数的消息发送至工厂端。本发明通过获取针对半导体设备的假脱机功能的配置参数，使得半导体设备在与工厂端断连时，存储符合配置参数的消息并发送至工厂端；本发明通过设置配置参数来存储断连时产生的消息，减少了工厂端人员的过多操作，提高了半导体设备的自动化水平，进而提高了假脱机功能的实用性。
主权项：1.一种半导体设备的消息上报方法，所述半导体设备通过机台生产自动化控制软件与工厂端通信连接，其特征在于，所述方法包括：获取针对所述半导体设备的假脱机功能的配置参数；其中，所述配置参数包括：需要上报的目标消息参数和存储数量阈值；所述目标消息参数为通过所述机台生产自动化控制软件需要上报消息的种类，所述种类包括以下一种或多种：S1F4、S6F1、S6F11；在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述配置参数的消息进行存储；在所述半导体设备与所述工厂端重连成功后，通过所述机台生产自动化控制软件将存储的符合所述配置参数的消息发送至所述工厂端；所述在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述配置参数的消息进行存储，包括：在所述半导体设备与所述工厂端断连的情况下，将产生的消息中符合所述目标消息参数的消息存储于消息队列中，所述消息队列的容量为存储数量阈值；所述获取针对所述半导体设备的假脱机功能的配置参数，包括：从所述半导体设备的预设数据库中，获取针对假脱机功能的配置参数；所述方法还包括：当监听到对假脱机功能的配置参数进行修改，则将修改后的配置参数更新至所述半导体设备的预设数据库中。
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权利要求：
百度查询： 北京北方华创微电子装备有限公司 半导体设备的消息上报方法、装置及半导体设备
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