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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司
摘要：本申请提供了一种缺陷图形数据库的建立方法、装置、电子设备及计算机可读存储介质。该缺陷图形数据库的建立方法，包括：获取芯片生产过程中在有图形硅片上的缺陷检测结果；在将缺陷检测结果对应的缺陷图像与预设的设计版图进行对准后，确定缺陷图像中缺陷位置在设计版图上对应的缺陷位置；基于设计版图上的缺陷位置，生成基于设计版图的缺陷检测报告；其中，缺陷检测报告包括以设计版图上的缺陷位置为中心，预设范围内的缺陷图形；对缺陷图形进行图形分组，得到图形分组结果；基于图形分组结果，建立缺陷图形数据库。根据本申请实施例，能够保证所建立的缺陷图形数据库的高覆盖度和全信息度。
主权项：1.一种缺陷图形数据库的建立方法，其特征在于，包括：获取芯片生产过程中在有图形硅片上的缺陷检测结果；所述缺陷检测结果包括高分辨率图像的缺陷检测结果和低分辨率图像的缺陷检测结果；其中，所述高分辨率图像为垂直分辨率大于等于720的图像；所述低分辨率图像为垂直分辨率小于720的图像；在将所述缺陷检测结果对应的缺陷图像与预设的设计版图进行对准后，确定所述缺陷图像中缺陷位置在所述设计版图上对应的缺陷位置；基于所述设计版图上的缺陷位置，生成基于设计版图的缺陷检测报告；其中，所述缺陷检测报告包括以所述设计版图上的缺陷位置为中心，预设范围内的缺陷图形，其中，对缺陷周边图形不加任何筛选；对所述缺陷图形进行图形分组，得到图形分组结果；基于所述图形分组结果，建立缺陷图形数据库。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司 缺陷图形数据库的建立方法、装置、设备及可读存储介质
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