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申请/专利权人：国鲸合创(青岛)科技有限公司;国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司
摘要：本发明涉及光电材料领域，提供一种蓝宝石基掺铝氧化锌透明导电单晶薄膜材料生产成套设备，包括：通过等离子体增强原子层沉积法，在蓝宝石基底的表面依次形成第一氧化锌层、锌镁氧层、第二氧化锌层以及氧化铝模板层，锌镁氧层的晶格常数小于氧化锌的晶格常数和蓝宝石的晶格常数，锌镁氧层的热膨胀系数大于氧化锌的热膨胀系数和蓝宝石的热膨胀系数；对形成有第一氧化锌层、锌镁氧层、第二氧化锌层和氧化铝模板层的蓝宝石基底退火，以使第一氧化锌层、锌镁氧层和第二氧化锌层均形成孔隙；通过远程等离子体增强化学气相沉积法，在氧化铝模板层的表面形成掺铝氧化锌层。实现蓝宝石基底上氧化锌层致密、平整、低应力、低缺陷密度的生长。
主权项：1.一种蓝宝石基掺铝氧化锌透明导电单晶薄膜材料生产方法，其特征在于，包括：通过等离子体增强原子层沉积法，在蓝宝石基底的表面依次形成第一氧化锌层、锌镁氧层、第二氧化锌层以及氧化铝模板层，所述锌镁氧层的晶格常数小于氧化锌的晶格常数和蓝宝石的晶格常数，所述锌镁氧层的热膨胀系数大于氧化锌的热膨胀系数和蓝宝石的热膨胀系数；对形成有所述第一氧化锌层、所述锌镁氧层、所述第二氧化锌层和所述氧化铝模板层的所述蓝宝石基底退火，以使所述第一氧化锌层、所述锌镁氧层和所述第二氧化锌层均形成孔隙；通过远程等离子体增强化学气相沉积法，在退火后的所述蓝宝石基底的所述氧化铝模板层的表面形成掺铝氧化锌层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 国鲸合创(青岛)科技有限公司 国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司 蓝宝石基掺铝氧化锌透明导电单晶薄膜材料生产成套设备
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