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一种氛围可控的激光微纳加工设备 

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申请/专利权人:桑若(厦门)光伏产业有限公司

摘要:本实用新型公开了一种氛围可控的激光微纳加工设备,涉及激光微加工技术领域,包括底座、储备箱和气体箱,所述储备箱的底面和气体箱的底面均与底座的上表面固定连接,储备箱的内壁和气体箱的内壁分别固定连接有第一密封垫和第二密封垫,第一密封垫的内壁分别固定连接有第一气敏传感器和第一气压传感器,第二密封垫的内壁分别固定连接有第二气敏传感器和第二气压传感器。本实用新型通过第一气敏传感器、第二气敏传感器、第一气压传感器和第二气压传感器,能够分别对储备箱以及气体箱内部可控气体进行观测,有效增加使用效果,再利用第一气泵配合第一连通管以及第二连通管,能够抽取储备箱内部可控气体排至气体箱内部,有效替代人工添加。

主权项:1.一种氛围可控的激光微纳加工设备,包括底座1、储备箱14和气体箱6,其特征在于:所述储备箱14的底面和气体箱6的底面均与底座1的上表面固定连接,所述储备箱14的内壁和气体箱6的内壁分别固定连接有第一密封垫16和第二密封垫7,所述第一密封垫16的内壁分别固定连接有第一气敏传感器17和第一气压传感器13,所述第二密封垫7的内壁分别固定连接有第二气敏传感器4和第二气压传感器27,所述气体箱6的上表面分别固定连接有第一气泵12和第二气泵25,所述第一气泵12的输入端和输出端分别固定连通有第一连通管3和第二连通管21,所述第一连通管3远离第一气泵12的一端依次贯穿储备箱14和第一密封垫16并延伸至储备箱14的内部,所述第二气泵25的输入端和输出端分别固定连通有进气管20和软管9,所述软管9的右端固定连通有喷头8,所述第二连通管21的底端和进气管20的底端均依次贯穿气体箱6和第二密封垫7并延伸至气体箱6的内部,所述储备箱14的正面和气体箱6的正面分别固定连接有两个第一警示灯18和两个第二警示灯23,所述储备箱14的正面固定连接有控制器19,所述控制器19通过导线分别与第一气泵12、第二气泵25、第一气敏传感器17、第一气压传感器13、第二气敏传感器4和第二气压传感器27、第一警示灯18和第二警示灯23电连接。

全文数据:

权利要求:

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