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申请/专利权人:华为技术有限公司
摘要:本申请提供了一种光通道阵列端面微纳结构的加工方法、光学元件及模具,其中,该方法包括在光通道阵列的通光端面上涂覆聚合物胶水;采用具有微纳图形阵列的压印模具与光通道阵列进行对位,使微纳图形阵列中的各个微纳图形单元与光通道阵列中的各个光通道的通光端面一一对应;通过纳米压印技术将微纳图形阵列压印至聚合物胶水上;对聚合物胶水进行固化,以使聚合物胶水上与微纳图形阵列对应的位置处固化形成微纳结构阵列。本申请可以在由多个光通道构成的光通道阵列的通光端面通过一次性的压印工艺即可成型出微纳结构阵列,从而极大程度地提升了加工效率,也提升了集成度,而且在微纳结构和对应的光通道之间无间隙,缩短了光路尺寸。
主权项:1.一种光通道阵列端面微纳结构的加工方法,其特征在于,包括如下步骤:在光通道阵列的通光端面上涂覆聚合物胶水;采用具有微纳图形阵列的压印模具与所述光通道阵列进行对位,使所述微纳图形阵列中的各个微纳图形单元与所述光通道阵列中的各个光通道的通光端面一一对应;通过纳米压印技术将所述微纳图形阵列压印至所述聚合物胶水上;对所述聚合物胶水进行固化,以使所述聚合物胶水上与所述微纳图形阵列对应的位置处固化形成微纳结构阵列。
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权利要求:
百度查询: 华为技术有限公司 光通道阵列端面微纳结构的加工方法、光学元件及模具
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