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申请/专利权人：浙江求是半导体设备有限公司
摘要：本实用新型公开了一种尾气收集装置及沉积设备，涉及薄膜制备技术领域。该尾气收集装置包括至少两个收集支管路、收集器和温度传感器，收集支管路包括两个尾气进气口和一个尾气汇集口。至少两个收集支管路的尾气汇集口均与收集器连接，收集器用于收集至少两个收集支管路中的尾气。每个收集支管路的两个尾气进气口均设有温度传感器，温度传感器用于检测每个尾气进气口的温度。该尾气收集装置极大地提高了尾气收集的效率；根据收集支管路的两个尾气进气口的温度能够判断收集支管路是否存在堵塞，能够及时发现管路堵塞的问题，以便及时排除风险。
主权项：1.尾气收集装置，其特征在于，包括：至少两个收集支管路1，所述收集支管路1包括两个尾气进气口和一个尾气汇集口；收集器2，至少两个所述收集支管路1的所述尾气汇集口均与所述收集器2连接，所述收集器2用于收集至少两个所述收集支管路1中的尾气；温度传感器3，每个所述收集支管路1的两个所述尾气进气口均设有温度传感器3，所述温度传感器3用于检测每个所述尾气进气口的温度。
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权利要求：
百度查询： 浙江求是半导体设备有限公司 尾气收集装置及沉积设备
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